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美國(guó)Fluke空間分辨率測(cè)試卡線(xiàn)對(duì)卡0.6~5.0 lp/mm,0.1/0.2mmPb 性能簡(jiǎn)介:X線(xiàn)診斷影像系統(tǒng)的攝影 / 圖像分辨能力測(cè)試美國(guó)Fluke空間分辨率測(cè)試卡線(xiàn)對(duì)卡分辨率測(cè)試卡的構(gòu)成

在一定寬度內(nèi),均勻地排列著若干組線(xiàn)對(duì)組,相鄰兩組的距離為3 mm;若干組線(xiàn)對(duì)數(shù)按一定(等比數(shù)列或等差數(shù)列)順序排列,各組線(xiàn)對(duì)的柵條緊夾在兩塊厚度為1 mm的有機(jī)玻璃板之間,如圖1所示。線(xiàn)對(duì)組成及圖形分布結(jié)構(gòu)按標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。一側(cè)的表面上(或圖像增強(qiáng)器輸入屏表面中心區(qū)域),按照一定的工藝條件進(jìn)行透照,在顯示器上能夠觀(guān)察到幾組黑白相間的柵條影像,其中觀(guān)察到柵條剛好分離的一組線(xiàn)對(duì),則該組線(xiàn)對(duì)所對(duì)應(yīng)的線(xiàn)對(duì)數(shù)即為圖像(或成像系統(tǒng))的分辨率。

分辨率測(cè)試卡是一種用于設(shè)置和測(cè)試微焦 X 射線(xiàn)系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測(cè)試模式。它支持 0.1 μm 和 10 μm 之間的分辨率,對(duì)應(yīng)于 0.2 μm 和 20 μm 之間的焦斑尺寸。

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